サーボシステムパートナー 日本トムソン株式会社
リニアモータテーブル
NT･･･V・SA･･･DEシリーズ
特長
コンパクトさを極めた先進のリニアモータテーブル
NT…V・SA…DEは、ムービングマグネット方式の極めて断面高さの低いリニアモータテーブルです。
可動テーブルの直線案内部には、小形直動案内機器の分野で定評のあるリニアウェイL、回転案内部にはクロスローラベアリングを使用し、リニアモータと高分解能リニアエンコーダの組合せにより高精度な位置決めを実現します。高性能ネオジム磁石を搭載しており、極めて小形でありながら大きな推力が得られます。
仕様
NT･･･V、SA･･･DE仕様
| NT・・・Vシリーズ | SA・・・DEシリーズ | |||||||||||||||||||||||||
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| NT38V10 | NT38V18 | NT55V25 | NT55V65 | NT80V25 | NT80V65 | NT80V120 | SA65DE/X | SA120DE/X | SA200DE/X | SA65DE/S | SA120DE/S | SA200DE/S | ||||||||||||||
| 最大推力※1（N） | 3 | 25 | 36 | 25 | 70 | 400 | 最大トルク 0.5N･m |
最大トルク 2.0N･m |
最大トルク 8.0N･m |
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| 定格推力※2（N） | 0.6 | 0.8 | 7 | 8 | 3.5 | 15 | 70 | 定格トルク 0.06N･m |
定格トルク 0.4N･m |
定格トルク 2.0N･m |
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| 最大可搬質量（kg） | 0.5 | 5 | 2.4 | 5.9 | 30 | 2.2 | 6.8 | 21.2 | ||||||||||||||||||
| 有効ストローク長さ（mm） | 10 | 18 | 25 | 65 | 25 | 65 | 120 | 10 | 20 | 20 | 有効動作角度 50度 |
有効動作角度 60度 |
有効動作角度 280度 |
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| 分解能（μm） | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.64秒 5625pulse/度 |
0.36秒 10000pulse/度 |
0.25秒 14400pulse/度 |
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| 最大速度（m/s） | 0.27 | 0.5 | 0.27 | 0.5 | 0.27 | 1.3 | 0.27 | 1.3 | 0.27 | 1.3 | 0.27 | 1.3 | 0.27 | 1.3 | 0.27 | 0.5 | 0.27 | 0.8 | 0.27 | 0.8 | 720度/s | 400度/s | 270度/s | |||
| 繰返し位置決め精度（μm） | ±0.5 ※3 | ±1.3秒 | ±0.8秒 | ±0.5秒 | ||||||||||||||||||||||
| 総質量 ※4（kg） | 0.20 | 0.24 | 0.42 | 0.50 | 0.68 | 0.83 | 1.4 | 0.35 | 2.5 | 7.2 | 0.5 | 2 | 6 | |||||||||||||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃・20～80％ＲＨ（結露しないこと） | |||||||||||||||||||||||||
- ※1:最大推力の持続時間は最大1秒です。
- ※2:周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
- ※3:製品本体の温度が安定した時の値を示します。
- ※4:コードの質量は含んでいません。
用途例
ナノリニアNT･･･V・アライメントステージSA･･･DEは、コンパクトで高性能な位置決め機構として様々な分野で幅広く採用され、その優れた性能が実証されています。
使用箇所
- ●ボンディングヘッド部
- ●ピックアップヘッド部
- ●チップ搬送部
- ●アライメント機構部
- etc…
装置の高速化・高精度化・コンパクト化に貢献しています。
システム構成
三菱電機関連製品
| インタフェース |
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パルス列 アナログ電圧 |
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| コントローラ |
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| サーボアンプ |
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お問い合わせ
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-
TEL：03-3448-5811
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FAX：03-3444-2240
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MAIL：日本トムソン株式会社Webサイトよりお問い合わせください
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