Factory Automation

サーボシステムパートナー CKD日機電装株式会社

CKD日機電装株式会社（ckd,CKD,nikki,NIKKI）

SSCNETⅢ/H対応ダイレクトドライブモータ
τDISC & τiDロール

特長

ギアレスダイレクト駆動で高精度、高応答、低速安定動作を実現

  1. ●高精度、高応答、大イナーシャ駆動、低速安定性、薄型コンパクト、大トルクなど様々な特長をもった豊富なラインアップ。
    • ・τDISC：定格トルク　1.6N･m～2000N･m、ディスク形状
    • ・τiDロール：定格トルク　150N･m～7500N･m
  2. ●SSCNETⅢ/H対応高性能サーボドライバ　VPH-HBタイプ
ギアレスダイレクト駆動で高精度、高応答、低速安定動作を実現

仕様

τDISC

シリーズ名 ND-s series ND-s HS series DD-s series HD-s series
定格トルク　N･m 1.6～500 8～24 10～2000 27～68
最大トルク　N･m 4.5～1000 19.2～65 23～3700 67.5～145
定格回転数　rps 2～6 11～15 1～4 5.5～6
外径　mm φ80～408 φ112～180 φ160～663 φ140～180
エンコーダタイプ 1回転アブソリュート インクリメンタル 1回転アブソリュート インクリメンタル
テーブル面回転精度
ラジアル/アキシャル振れ　μm		 標準仕様：30～50
高精度仕様：10		 標準仕様：30～50
高精度仕様：10		 標準仕様：30～100
高精度仕様：3～5		 標準仕様：50
高精度仕様：10
絶対位置決め精度　arcsec ±15（オプション） ±15（オプション） ±10（オプション） ±15（オプション）
繰返し位置決め精度（往復動作時）　arcsec ±1～2 ±1 ±1 ±1

τiDロール

タイプ名 iD380W iD450W iD680W iD300A iD380A iD450A
冷却方式 水冷 ファン空冷
定格トルク　N･m 550～1600 2300～4000 5000～7500 150～300 380～1100 1600～2800
最大トルク　N･m 1000～3100 4000～7000 8700～12000 450～800 1000～3100 4000～7000
定格回転数　rpm 120～720 60～300 30～180 240～500 120～720 60～300
取付形状 脚付 フランジ取付
外径/取付フランジ角　mm φ370 φ450 φ690 □260 □380 □480
エンコーダタイプ 1回転アブソリュート ※ 1回転アブソリュート ※

多回転アブソリュートエンコーダについては、お問い合わせください。

用途例

インデックス駆動、巻締め駆動

インデックス装置、キャッパー装置等

インデックス駆動、巻締め駆動

高精度ロール駆動

ロールコーター、PE印刷機等

高精度ロール駆動

大イナーシャ負荷旋回駆動

FPD搬送、製造、検査装置等

インデックス駆動、巻締め駆動

高速正弦波駆動

トルク試験機、材料試験機、耐久試験機等

高精度ロール駆動

システム構成

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース
パルス列
アナログ電圧
コントローラ
  • PLC CPU
  • IPC
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • RD78G
  • FX5-SSC-G
  • SWM-G
  • RD77MS
  • RnMTCPU
  • QD77MS
  • Q17nDSCPU
  • FX5-SSC-S
  • LD77MS
  • MR-MC
  • Q173SCCF
  • RD77GF
  • QD77GF
  •  
  • MR-EMnGF
サーボアンプ
  • MR-J5-G
  • MR-J5-B
  • MR-J4-B
  • MR-J4-GF
  • MR-J5-A
  • MR-J4-A

お問い合わせ

CKD日機電装株式会社

サポートエリア
  • 日本
  • 北米
  • 欧州
  • 中国
  • 韓国
  • 台湾
  • インド
  • シンガポール
CKD日機電装株式会社（ckd,CKD,nikki,NIKKI）

SSCNETⅢ/H対応リニアステージ
τリニアステージ

特長

サーボ制御技術との融合で高性能ステージを実現

  1. ●リニアサーボ搭載の高精度ステージ。X/XY軸ステージの他、高精度ダイレクトドライブモータτDISCを搭載したXθ/XYθ軸ステージもラインアップ。多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ等カスタムメイドにも対応。
  2. ●速度変動率性能の保証対応、レーザー測定補正データを用いた位置決め精度保証、ユーザー要求動作仕様の確認と設定対応も可能。
  3. ●SSCNETⅢ/H対応高性能サーボドライバ　VPH-HBタイプをラインアップ。

τリニアステージ　XY軸

τリニアステージ　XY軸

τリニアステージ　XYθ軸

τリニアステージ　XYθ軸

仕様

Xステージ

ステージ型式
NST-A（　　）**BP*A		 （　　）部
010 020 030 050 070 100 130
ステージ有効ストローク　mm 100 200 300 500 700 1000 1300
真直度　μm 3 3 5 7 10 12 15
平行度B　μm 10 10 15 20 25 30 35
繰返し位置決め精度　μm ±0.5 / ±1 / ±5（エンコーダ分解能に依存）
ロストモーション　μm 1 / 2 / 10（エンコーダ分解能に依存）
耐荷重　kg 200
姿勢精度　ピッチ、ヨー（オプション）　μm 10 10 15 15 15 20 25
位置決め精度
（オプション）　μm		 1 / 2 / 10（エンコーダ分解能に依存）

XYステージ

ステージ型式
NST-D（　　）BP*A		 （　　）部
10B3/10A3 20B3/20A3 25B4/25A4 30B4/30A4 35B4/35A4 50B5/40A5 60B5/45A5
X/Y軸 X Y X Y X Y X Y X Y X Y X Y
ステージ有効ストローク　mm 100 100 200 200 250 250 300 300 350 350 500 400 600 450
真直度A　μm 3 3 3 3 5 5 5 5 5 5 10 10 15 15
直角度A　μm 3 5 10 10 10 15 15
平行度B　μm 15 15 15 15 15 25 25
繰返し位置決め精度　μm ±0.5 / ±1 / ±5（エンコーダ分解能に依存）
ロストモーション　μm 1 / 2 / 10（エンコーダ分解能に依存）
耐荷重　kg 50 100
姿勢精度　ピッチ、ヨー（オプション）　μm 15 15 15 15 15 15 15 15 15 15 20 20 20 20
位置決め精度
（オプション）　μm		 1 / 2 / 10（エンコーダ分解能に依存）

用途例

カスタムメイドリニアステージ実例

レーザー加工装置用高精度XYステージ

X軸 Y軸
有効ストローク 500mm 215mm
速度変動率 ※ ±0.02%
（100mm/s）		 ±0.02%
（500mm/s）
位置決め精度 ※ 0.35μm 0.18μm

実測値となります。

レーザー加工装置用高精度XYステージ

ガラスレンズ検査装置用XYZステージ

X軸 Y軸 Z軸
有効ストローク 1000mm 250mm 600mm
位置決め精度 ※ 0.9μm 0.7μm 1.7μm

実測値となります。

高精度ロール駆動

アライメント装置用円弧型ステージ

使用リニアモータ：円弧型リニアモータ　τサーボコンパス
有効動作角度 22deg
定格推力 150N
動作半径 825mm
繰返し位置決め精度 ※ ±1μm以下（@850.7mm以上）

実測値となります。

アライメント装置用円弧型ステージ

システム構成

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース
パルス列
アナログ電圧
コントローラ
  • PLC CPU
  • IPC
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • RD78G
  • FX5-SSC-G
  • SWM-G
  • RD77MS
  • RnMTCPU
  • QD77MS
  • Q17nDSCPU
  • FX5-SSC-S
  • LD77MS
  • MR-MC
  • Q173SCCF
  • RD77GF
  • QD77GF
  •  
  • MR-EMnGF
サーボアンプ
  • MR-J5-G
  • MR-J5-B
  • MR-J4-B
  • MR-J4-GF
  • MR-J5-A
  • MR-J4-A

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