次の2点を確認してください。
1.経年変化により、ゲインが合わなくなった可能性があります。安全に運転可能であれば、オートチューニングを実行してください。変化しないようであれば、オートチューニングの応答性を下げて再度オートチューニングを実行してみてください。
2.サーボモータを機械から外し、単独で運転させてください。単独の運転で異音がするようならば、ベアリングの寿命が考えられます。サーボモータを交換してください。異音がしない場合は、機械側のガタやバックラッシの増加が考えられます。機械側を調整してください。