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Factory Automation

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MELSERVO-J4シリーズ対応 ダイレクトドライブモータ

用途事例

低速回転・高トルクでの用途に最適。

塗布・蒸着装置

塗布・蒸着装置

液晶・半導体のスピン式洗浄装置

液晶・半導体のスピン式洗浄装置

液晶・半導体の検査装置(XYθテーブル)

液晶・半導体の検査装置(XYθテーブル)

工作機械のインデックステーブル

工作機械のインデックステーブル

研磨装置の回転軸

研磨装置の回転軸

搬送ロボットの回転軸

搬送ロボットの回転軸