低慣性モータと超低慣性モータの違いは、サーボモータの回転子（ロータ）の慣性の大きさにあります。一般的に低慣性のモータは自身の慣性モーメントが小さいため、高速で高頻度な運転をする用途の場合に最適なモータです。超低慣性モータは、低慣性モータよりもさらに慣性が小さいため、より高頻度な動作が可能となります。
ただし、慣性が小さいほどモータが動かすことのできる機械側の負荷慣性モーメント（推奨負荷慣性モーメント比）が小さくなる傾向にあるため、モータの選定は必要な運転条件や機械側の仕様を考慮して行ってください。