FX5 CPUユニットの内蔵高速カウンタは、最大8CHまで制御可能です。
FX5U/FX5UC/FX5UJ CPUユニットに FX5-16ET/E□-H(高速パルス入出力ユニット)を4台増設することで、最大16CHまで制御可能です。