FX5U/FX5UC/FX5S CPUユニットの内蔵位置決めは最大4軸、FX5UJ CPUユニットの内蔵位置決めは

最大3軸まで制御可能です。

FX5U/FX5UC/FX5UJ CPUユニットに FX5-16ET/E□-H(高速パルス入出力ユニット)を増設した場合、

FX5U/FX5UC CPUユニットは最大12軸、FX5UJ CPUユニットは最大11軸まで制御可能です。

最大軸数の機器構成は、FX5U/FX5UC CPUユニット 内蔵位置決め4軸 + 
FX5-16ET/E□-H(高速パルス入出力ユニット)2軸 × 4台になります。