FX5 CPUユニットの内蔵高速カウンタは、1相1入力、1相2入力、2相2入力の3種別に対応しており、最大8chの入力が可能です。
ただし、CPUユニットの種別や点数によって最大応答周波数が異なります。

詳細は下記マニュアルを参照ください。
MELSEC iQ-F FX5ユーザーズマニュアル(応用編)(マニュアル番号：JY997D54301)

例：
・ FX5U/FX5UC CPUユニット(32点)：200kHz 6ch、10kHz 2ch 合計8ch
・ FX5U CPUユニット(64/80点)、FX5UC CPUユニット(64/96点)：200kHz 8ch